天准科技申请多自由度调整台及曝光设备专利专利技术能实现空间占

　　天准科技申请多自由度调整台及曝光设备专利，专利技术能实现空间占用小，调整精准且气吸定位快速

　　金融界2024年1月17日消息，据国家知识产权局公告，苏州天准科技股份有限公司申请一项名为“一种多自由度调整台及曝光设备“，公开号CN117406560A，申请日期为2023年11月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种多自由度调整台及曝光设备制动过载系数，属于姿态调整领域，多自由度调整台包括整定底板有限元分析、夹紧机构、调整弹性机构、多自由度调整机构、平台载板；夹紧机构对调整好的调整弹性机构进行推夹定位；多自由度调整机构采用球面调整机构；顶升机构设置在平台载板的下方非补偿环座，用于平台载板在高度方向的升降调整；平面内调整模组用于多自由度调整台在水平面内的X向、Y向和绕Z轴旋转的三自由度调节；本申请的多自由度调整台对水平调整具有空间占用小，调整精准且气吸定位快速等特点，可拓展的集成调高和面内调整，便于在需要姿态调整领域如硅片、电池片镀铜图形化领域中的推广应用。